หลักการของการระเหยด้วยไมโครเวฟคือภายใต้การแนะนำของอัลตราซาวนด์, CT, MRI และระบบนำทางแม่เหล็กไฟฟ้า จะใช้เข็มเจาะพิเศษเพื่อสอดเข้าไปในแผล และแหล่งกำเนิดรังสีไมโครเวฟที่อยู่ใกล้ปลายเข็มจะปล่อยคลื่นไมโครเวฟออกมา ซึ่งทำให้เกิดอุณหภูมิสูง ประมาณ 80 ℃ เป็นเวลา 3-5 นาที จากนั้นจึงฆ่าเซลล์ในบริเวณนั้น
สามารถทำให้เนื้อเยื่อเนื้องอกขนาดใหญ่กลายเป็นเนื้อเยื่อตายหลังจากการระเหย บรรลุวัตถุประสงค์ของการ "เผาไหม้" เซลล์เนื้องอก ทำให้ขอบเขตความปลอดภัยของเนื้องอกชัดเจนขึ้น และลดค่าสัมประสิทธิ์ความยากในการดำเนินการการทำงานของร่างกายและความพึงพอใจของผู้ป่วยก็จะดีขึ้นเช่นกัน
ด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีอย่างต่อเนื่อง เทคโนโลยีการผ่าตัดด้วยคลื่นไมโครเวฟได้ผลลัพธ์ที่ดีเยี่ยมในการรักษาเนื้องอกที่เป็นก้อน เช่น มะเร็งตับ มะเร็งปอด มะเร็งไต เป็นต้นนอกจากนี้ยังสร้างความสำเร็จอย่างที่ไม่เคยมีมาก่อนในการรักษาโรคที่ไม่ร้ายแรง เช่น ก้อนของต่อมไทรอยด์ ก้อนในปอดขนาดเล็ก ก้อนที่เต้านม เนื้องอกในมดลูก และเส้นเลือดขอด และได้รับการยอมรับจากผู้เชี่ยวชาญทางการแพทย์มากขึ้นเรื่อยๆ
การระเหยด้วยไมโครเวฟยังสามารถใช้สำหรับ:
1. เนื้องอกไม่สามารถลบออกได้โดยการผ่าตัด
2. ผู้ป่วยที่ไม่สามารถทำการผ่าตัดขนาดใหญ่ได้เนื่องจากอายุมาก มีปัญหาเกี่ยวกับหัวใจ หรือโรคตับเนื้องอกหลักที่เป็นของแข็ง เช่น เนื้องอกในตับและปอด
3. การรักษาแบบประคับประคองเมื่อผลการรักษาอื่นไม่โดดเด่น การระเหยด้วยไมโครเวฟจะช่วยลดปริมาณและขนาดของเนื้องอกเพื่อยืดอายุของผู้ป่วย